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　　平面研磨機為精密研磨設備，被研磨的產品放置在研磨盤上，研磨盤逆時鐘旋轉，工件自己轉動，用重力加壓的方式對工件施壓，工件與研磨盤作相對旋轉磨擦，相反像鋁合金，鋅合金，不銹鋼，鋼材，銅材，鋁材，鈦合金等金屬類可以使用此工藝。研磨后，工件表面發生位錯增值，從而導致位錯密度增加;同時由于位錯的運動，導致位錯的交割。這兩種現象均導致了已加工表面的硬化，這也是工件表面硬化的主要原因。

　　根據數據分析表明平面研磨機，隨著研磨壓力和速度的增加，工件表面硬化程度變大。但是也不能盲目增加研磨壓力和研磨速度，過大的壓力會使工件破碎、變形、電機超負荷，過快的速度會是工件塌邊，尤其是在用平面研磨機研磨脆性材料時。這種增加表面硬度的研磨工藝大多只適應于金屬材料的研磨拋光加工，不適應于過于脆，薄和易碎工件，比如：過薄的玻璃，硅片，藍寶石襯底等。

　　納米級高效研磨加工技術在加工效率、加工成本、加工質量和加工精度上具有明顯的優勢，具有很好的應用前景。目前，新型高速平面研磨機，由于性能先進，有關的平面研磨機樣機已在國內十幾家單位得到了應用，而且還兩次出口到澳大利亞，受到了國內外用戶的普遍好評。但目前此技術僅限于用于個別件的加工中，應用得還不夠普遍，還應進一步完善加工工藝，優化研磨工藝參數，擴大研磨加工范圍;還要完善平面研磨機，提高平面研磨機性能，改進平面研磨機造型，使其達到實用化、商品化的程度，以便更廣泛地推廣應用。